特許
J-GLOBAL ID:200903093053048807

走査型顕微鏡におけるビーム制御のための方法および走査型顕微鏡におけるビーム制御のための装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-310089
公開番号(公開出願番号):特開2002-196249
出願日: 2001年10月05日
公開日(公表日): 2002年07月12日
要約:
【要約】【課題】個々の領域、結像領域全体にわたって分散されている関心のある領域を走査する走査型顕微鏡におけるビーム制御のための方法および装置が、開示される。【解決手段】走査型顕微鏡は、プレビュー画像(7)を取得して表示するための手段(3)および顕微鏡光学系(51)を具備する。プレビュー画像(7)で、少なくも一つの関心のある領域(27,29)を表示するための手段を備えている。第1のビーム偏向装置(43,67,78)が、関心のある領域(27,29)に走査領域(31,33)を移動し、第2のビーム偏向装置(49,72,94)は、走査領域(31,33)の内部で曲折模様形状の走査を行うように作用する。
請求項(抜粋):
走査型顕微鏡におけるビーム制御のための方法であって、以下のステップ、すなわちプレビュー画像を取得するステップと、前記プレビュー画像において少なくとも1つの関心のある領域を表示するステップと、第1のビーム偏向装置によって前記関心のある領域に走査領域を移動するステップと、第2のビーム偏向装置を用いて前記関心のある領域を曲折模様形状に走査することによって、画像を取得するステップと、を含むビーム制御方法。
IPC (6件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/24 ,  G02B 21/36 ,  G02B 26/10 104 ,  G06T 1/00 430
FI (6件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/24 ,  G02B 21/36 ,  G02B 26/10 104 Z ,  G06T 1/00 430 F
Fターム (23件):
2H045AB01 ,  2H045BA13 ,  2H045DA11 ,  2H045DA31 ,  2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AF23 ,  2H052AF25 ,  5B047AA07 ,  5B047AA15 ,  5B047AA17 ,  5B047AB02 ,  5B047BA02 ,  5B047BB08 ,  5B047BC05 ,  5B047BC09 ,  5B047BC11 ,  5B047BC14 ,  5B047BC30 ,  5B047CA04 ,  5B047CA17
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • サイトメータ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-040394   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • レーザ走査オフサルモスコープ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-206973   出願人:カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
  • 走査型光学顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-007147   出願人:オリンパス光学工業株式会社

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