特許

J-GLOBAL ID：200903093085545110

ガス中の微量不純物の分析方法及び装置

発明者： 西名 明 ,  田中 誠
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-249434
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074882
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 ガスクロマトグラフで主成分ガスと十分に分離できない不純物成分も、大気圧イオン化質量分析計によって高感度,高精度で分析できるガス中の微量不純物の分析方法及び装置を提供する。【解決手段】 主成分ガスと微量不純物とを分離するガスクロマトグラフ10からの流出ガスに精製ガス(希釈ガス)を添加して大気圧イオン化質量分析計20に導入することにより微量不純物を分析する方法において、前記流出ガスの種類に応じて前記精製ガスの添加量を調節する。

請求項（抜粋）：

試料ガス中の主成分ガスと微量不純物とを分離するガスクロマトグラフからの流出ガスに精製ガスを添加して大気圧イオン化質量分析計に導入することにより試料ガス中の微量不純物を分析する方法において、前記流出ガスの種類に応じて前記精製ガスの添加量を調節することを特徴とするガス中の微量不純物の分析方法。

IPC (3件)：

G01N 27/62 ,  G01N 30/72 ,  H01J 49/04

FI (3件)：

G01N 27/62 C ,  G01N 30/72 F ,  H01J 49/04

Fターム (6件)：

5C038EE01 ,  5C038EF01 ,  5C038EF12 ,  5C038GG08 ,  5C038GH04 ,  5C038GH08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 微量不純物の分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-185518   出願人：日本パイオニクス株式会社

審査官引用 (1件)

• 微量不純物の分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-185518   出願人：日本パイオニクス株式会社