特許
J-GLOBAL ID:200903093089519113

濾過装置および濾過方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 敬 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-105540
公開番号(公開出願番号):特開2001-347144
出願日: 1999年12月14日
公開日(公表日): 2001年12月18日
要約:
【要約】【課題】 従来、ダイシング、CMP等の機械的加工により発生する研磨屑、研削屑が混入された排水は、凝集沈殿法またはフィルタ濾過と遠心分離を組み合わせた二通りで処理されていた。しかし前者では、濾過水に薬品が混入し、濾過水の再利用が行えず、また後者は、システムとして大きくなり、イニシャルコスト、ランニングコストが高い問題を有していた。【解決手段】 シート状の第1のフィルタ31、32にトラップされた固形物16の積層物を第2のフィルタ36として活用する。この積層物36は、第1のフィルタ31側は、第1のフィルタ31、32に付着し続け、表面は外力により流体側に移動することが出来る。この機構により常にリフレッシュし続ける濾過装置が可能となる。
請求項(抜粋):
シート状の第1のフィルタに固形物から成る積層物が設けられた濾過装置であり、前記第1のフィルタを流体に浸し、前記濾過装置の下方から前記積層物に気泡を通過させた際、前記第1のフィルタの最表面および最表面に近い固形物は、前記第1のフィルタに保持され、前記積層物の表面およびその近傍にある固形物は、前記気泡により流体側に離間することを特徴とした濾過装置。
IPC (4件):
B01D 69/14 ,  B01D 65/02 520 ,  B01D 69/06 ,  C02F 1/44
FI (4件):
B01D 69/14 ,  B01D 65/02 520 ,  B01D 69/06 ,  C02F 1/44 E
Fターム (12件):
4D006GA07 ,  4D006KA12 ,  4D006KC14 ,  4D006MA03 ,  4D006MA16 ,  4D006MA27 ,  4D006MC22 ,  4D006PA02 ,  4D006PB08 ,  4D006PB23 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 活性汚泥濾過装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-177201   出願人:大同均, 麻生栄治, 栗田工業株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日立金属株式会社
  • 生物処理方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-285207   出願人:大同均, 田島規行, 栗田工業株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日立金属株式会社
  • 特許第3291488号
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