特許

J-GLOBAL ID：200903093101489683

振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法

発明者： 菊池 尊行 ,  郷治 庄作 ,  大杉 幸久 ,  相馬 隆雄
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027173
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230756
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】圧電振動型ジャイロスコープにおいて、駆動振動アームの駆動振動による、検出アームへの影響を抑制し、検出信号におけるS/N比を向上させる。【解決手段】所定の回転軸を中心として回転させるための振動子を提供する。この振動子が、内側に中空領域8が形成されている枠部10Aと、複数の振動系1A、1B、2A、2Bとを備えている。複数の振動系のうちの少なくとも一つが、枠部10Aの内縁10aから中空領域8内に延びている。

請求項（抜粋）：

所定の回転軸を中心として回転させるための振動子であって、この振動子が、内側に中空領域が形成されている枠部と、複数の振動系とを備えており、前記複数の振動系のうちの少なくとも一つが、前記枠部の前記中空領域に面する内縁から前記中空領域内に突出していることを特徴とする、振動子。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 振動型角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-310723   出願人：日本航空電子工業株式会社