特許
J-GLOBAL ID：200903093201554989
誘導結合されたプラズマトーチのための取付け装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-293630
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201902
出願日： 1998年10月15日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 誘導結合されたプラズマ発生器の構成部材の容易な取外し及び交換を可能にするような新規の取付け装置を提供する。【解決手段】 ハウジングアセンブリ34が、受け部材40と、電気的な接触リング68と、中心アパーチュア50を備えたガスブロック48とを有している。取付けアセンブリ32が、取付け部材64と、第2のガスブロック70と、ガス管18と、試料噴射管24とを有している。第2のガスブロックは、ガス管内へ延びた内部通路78を有している。
請求項（抜粋）：
誘導結合されたプラズマ発生器のための取付け装置であって、ハウジングアセンブリが設けられており、該ハウジングアセンブリが、壁開口を備えたハウジング壁から形成されたハウジングと、ハウジングに取り付けられていて、壁開口を貫通して延びた軸線を有する負荷コイルと、ハウジングの殆ど外側でハウジング壁に取り付けられていて壁開口と整合した中心開口を有する受け部材と、該受け部材に取り付けられた環状の第1の電気的な接触素子と、貫通した中心アパーチュアを備えた第1のガスブロックと、中心アパーチュアを中心開口に整合させながら第1のガスブロックをハウジング壁に取り付けるための取付け手段とから成っており、前記第1のガスブロックが、プラズマ形成ガスを受け取る、中心アパーチュアにまで延びた外部通路を有しており、負荷コイルが、高周波エネルギを受け取るようになっており、ハウジング壁と、受け部材と、第1の接触素子とが、導電性でかつ互いに電気的に接触しており、取付けアセンブリが設けられており、該取付けアセンブリが、受け部材に嵌合するように形成された取付け部材と、該取付け部材に取り付けられた環状の第2の電気的な接触素子と、取付け部材に取り付けられていて中心アパーチュア内で第1のガスブロックに嵌合するように形成された第2のガスブロックと、該第2のガスブロックから延びるように該第2のガスブロックに取り付けられたガス管とから成っており、第2のガスブロックが、該第2のガスブロックを貫通してガス管にまで延びた内部通路を有しており、取付け部材と、第2の接触素子とが、導電性でかつ相互に電気的に接触しており、ハウジングアセンブリへの取付けアセンブリの取外し可能な係合のための係合手段が設けられており、ハウジングアセンブリと取付けアセンブリとが、協働するように構成されているので、係合時に、取付け部材が受け部材に嵌合させられ、第2のガスブロックが第1のガスブロックに嵌合させられ、第1の接点素子と、第2の接点素子とが、電気的に接触し、ガス管が負荷コイルと同軸的に延び、プラズマ形成ガスを負荷コイルにまでガス管内に供給するように内部通路が外部通路を整合し、負荷コイルと、ガス管とが、高周波エネルギとのプラズマ形成ガスの誘導結合によってプラズマを生ぜしめるように、協働するように位置決めされるようになっていることを特徴とする、誘導結合されたプラズマトーチのための取付け装置。
IPC (4件)：
G01N 21/73
, G01N 27/62
, H01J 49/10
, H05H 1/30
G01N 21/73
, G01N 27/62 G
, H01J 49/10
, H05H 1/30
