特許
J-GLOBAL ID:200903093218657935

セラミックシース型熱電対

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 尾仲 一宗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-146533
公開番号(公開出願番号):特開平9-304192
出願日: 1996年05月17日
公開日(公表日): 1997年11月28日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、耐久性に富むと共に測温応答性を向上させたセラミックシース型熱電対を提供する。【解決手段】 このセラミックシース型熱電対は、保護管1を窒化珪素、サイアロン及び炭化珪素から選択されるセラミックスによって作製し、保護管1の内部に測温点となる結合部9を有するW-Re素線2,3を配置する。更に、W-Re素線2,3を内包するように、保護管1内に4.0×10- 6 /°C〜5.5×10- 6 /°Cの範囲の熱膨張係数を有する反応焼結窒化珪素セラミックスを主成分とする複合セラミックス4を充填する。保護管1の外周面には、窒化珪素皮膜5,6を形成する。
請求項(抜粋):
窒化珪素、サイアロン及び炭化珪素から選択されるセラミックスによって作製された保護管、前記保護管の内部に配置された測温点となる結合部を有するW-Re素線、前記W-Re素線を内包するように前記保護管内に充填された4.0×10- 6 /°C〜5.5×10- 6 /°Cの範囲の熱膨張係数を有する反応焼結窒化珪素セラミックスを主成分とする複合セラミックス、及び前記保護管の外周面に形成された窒化珪素皮膜、から成るセラミックシース型熱電対。
IPC (4件):
G01K 7/02 ,  G01K 1/08 ,  H01L 35/00 ,  H01L 35/20
FI (4件):
G01K 7/02 C ,  G01K 1/08 P ,  H01L 35/00 Z ,  H01L 35/20
引用特許:
出願人引用 (6件)
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