特許

J-GLOBAL ID：200903093246286365

照明装置及び露光装置

発明者： 押野 哲也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-025569
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235472
出願日： 1994年02月23日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 従来よりも格段に照明効率が高く円弧状に形成される照明領域での強度が照明位置によらず、ほぼ一様となる高性能な照明装置、及び該照明装置を備えた露光装置を提供する。【構成】 平行光束を供給する光源部5と、該光源部5からの平行光束により複数の光源像を形成する反射型のオプティカルインテグレータ4a、4bとを有し、前記光源像または光源からの光束を平行光束に変換して前記被照明物体上を円弧状に照明する特殊反射鏡3を有し、放物線の頂点から該放物線の対称軸に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸に対して垂直に通る基準軸を中心に回転させた放物トーリック形状の回転体の一部より構成されてなり、前記オプティカルインテグレータ4b及び/又は前記特殊反射鏡3の反射面に、所望のX線反射率分布を付与してなることを特徴とする照明装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも、所定の大きさの光源像または光源を形成する光源手段と、該光源手段からの光束を集光して被照明物体を照明する集光光学系とからなる照明装置に於いて、前記光源手段は、平行光束を供給する光源部と、該光源部からの平行光束により複数の光源像を形成する反射型のオプティカルインテグレータとを有し、前記集光光学系は、前記光源像または光源からの光束を平行光束に変換して前記被照明物体上を円弧状に照明する特殊反射鏡を有し、該特殊反射鏡は、放物線の頂点から該放物線の対称軸に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸に対して垂直に通る基準軸を中心に回転させた放物トーリック形状の回転体の一部より構成されてなり、前記オプティカルインテグレータ及び/又は前記特殊反射鏡の反射面に、所望のX線反射率分布を付与してなることを特徴とする照明装置。

IPC (7件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/10 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/02

FI (2件)：

H01L 21/30 531 A ,  H01L 21/30 531 S

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-006540
  
• 特開昭63-245923
  
• 微細パターン転写方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-240806   出願人：株式会社日立製作所