イオントラップ質量分析装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235769
公開番号（公開出願番号）：特開平11-073911
出願日： 1997年09月01日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】イオントラップ質量分析装置の分解能を低下させることなしに感度を向上し、さらにイオン強度を安定化する。【解決手段】エンドキャップ電極(11a)のイオン取り出し口(23)にメッシュ状電極(25)を設ける、およびまたは、エンドキャップ電極(11a、11b)とリング電極(12)の間にシールド電極(29a、29b)を設ける。【効果】メッシュ電極によってイオンの透過率が向上して高感度化され、また、シールド電極によって高周波電界への悪影響が防止されてイオン強度が安定化する。

請求項（抜粋）：

大気圧下でイオンを生成するイオン源と、内部を高真空に排気する手段を備えたチャンバーと、上記イオン源から生成したイオンを上記チャンー内に取り込むための差動排気部と、上記チャンバー内に配置された、上記チャンバー内に取り込まれた上記イオンを引き出して収束する収束レンズ部と、上記チャンバー内に所定の空間を介して互いに対向して配置された一対のエンドキャップ電極および上記空間内に配置された環状のリング電極を有し、上記収束レンズ部で収束された上記イオンを質量走査する質量分析部と、上記チャンバー内に配置された、上記質量分析部によって質量走査された所定のイオンを検出するイオン検出器を有するイオントラップ質量分析装置において、上記一対のエンドキャップ電極の互いに対向する側にそれぞれ形成されたイオンが通過する開口部の少なくとも一方に設けられたメッシュ状電極および上記エンドキャップ電極と上記リング電極の間に設けられたシールド電極の少なくとも一方を有することを特徴とするイオントラップ質量分析装置。

IPC (2件)：

H01J 49/42 , G01N 27/62

FI (2件)：

H01J 49/42 , G01N 27/62 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

イオントラップ型質量分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-317950 出願人：株式会社日立製作所
特開昭59-134546
質量分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-045341 出願人：株式会社島津製作所

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