特許
J-GLOBAL ID：200903093260239850
絶縁碍子及びこれを具備するプラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高橋 詔男
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-243422
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087581
出願日： 2002年08月23日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】プラズマを発生させる電極の地絡を断って絶縁状態を確実に確保するとともに、小型でありつつ大面積基板の製造に対応しうる強度を確保した絶縁碍子及びこれを具備するプラズマ処理装置を提供すること。【解決手段】導電体である電極の支持、電極への給電、ガス供給電極とされる電極への製膜用ガスの供給用等に用いられる絶縁碍子40,50を、電極等の導電体(13a)と直に接続される絶縁体からなる内側部材41、51と、該内側部材41,51の外周部を覆うように離間配置された外側部材42,52と、該内側部材41,51と該外側部材42,52との間に配置されて位置関係を保持する保持部材43,53とを有して構成した。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
絶縁により導電体の地絡を防止しつつ接続される絶縁碍子において、
前記導電体と直に接続される絶縁体からなる内側部材と、
該内側部材の外周部を覆うように離間配置された外側部材と、
該内側部材と該外側部材との間に配置されるとともにこれら両部材と接することによって位置関係を保持する保持部材とが備えられてなることを特徴とする絶縁碍子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4K030BA30
, 4K030FA03
, 4K030KA15
, 4K030KA17
, 4K030KA30
, 4K030KA49
, 4K030LA16
, 5F045AA08
, 5F045BB08
, 5F045BB20
, 5F045EH01
