無発塵除電除塵システム

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-005335
公開番号（公開出願番号）：特開2004-220872
出願日： 2003年01月14日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】オゾンや電磁ノイズ、及び発塵等の発生を起こすことなく、防爆施設や装置での使用が可能で、帯電体に付着した塵埃を確実に除去することができる無発塵除電除塵システムを提供する。【解決手段】間欠高速噴流発生装置Dは、ガス搬送路2bに設けられ、内部には、電磁弁2cを備えている。この装置Dは、ガス搬送路2bから送られてくるイオン搬送ガスを、電磁弁2cを開閉させることにより、下流側であるチャンバ1内へ高速気流として間欠的に噴出し、ガス搬送路2bは、チャンバ1の側端部(図中、右側側端部)に設けられたガス搬送路接続部2aを介して、間欠高速噴流発生装置Dから噴出される前記イオン搬送ガスをチャンバ1へ供給する。この間欠高速噴流が、チャンバ1の吹出部9から帯電体Sの表面へ吹き付けられ、帯電体Sの表面及び表面に付着した塵埃を除電・除塵する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チャンバ内に供給されたイオン搬送ガスの一部を内部に設けられたイオン化源によってイオン化するイオン化部と、前記イオン化部において発生したイオンを気流として帯電体に向かって供給する吹出部と、前記チャンバの外部に前記イオン化源とケーブルを介して接続され、このケーブルを介して前記イオン化源によるイオン発生を制御する制御装置とを有する無発塵除電除塵システムにおいて、前記イオン化部には、前記イオン搬送ガスを前記チャンバ内に供給するガス搬送路が設けられ、このガス搬送路には、前記チャンバ内に間欠的な高速噴流を供給する間欠高速噴流発生装置が設けられていることを特徴とする無発塵除電除塵システム。

IPC (4件)：

H05F3/06 , B03C3/02 , B03C3/40 , H01T23/00

FI (4件)：

H05F3/06 , B03C3/02 A , B03C3/40 C , H01T23/00

Fターム (7件)：

4D054AA20 , 4D054BA19 , 4D054EA11 , 4D054EA14 , 4D054EA30 , 5G067AA42 , 5G067DA24

引用特許：

審査官引用 (4件)

防爆型無発塵イオナイザー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-161060 出願人：株式会社テクノ菱和, 浜松ホトニクス株式会社, 原田産業株式会社
塵埃除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-130408 出願人：株式会社リコー
エアー洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-290841 出願人：松下電工株式会社

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