防爆型無発塵イオナイザー

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-161060
公開番号（公開出願番号）：特開2002-352997
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】オゾンや電磁ノイズ、及び発塵等の発生を起こすことなく、防爆施設や装置での使用を可能とした防爆型無発塵イオナイザーを提供する。【解決手段】チャンバ内に供給されたイオン搬送ガスの一部をイオン化するイオン化部と、帯電体に向かってイオン搬送ガスを供給する吹出部を有するチャンバを備え、イオン化部をチャンバに内蔵されたイオン化源と、このイオン化源と高電圧ケーブルを介して接続された制御装置とから構成し、イオン化源として、軟X線発生装置の発生部、低エネルギー電子線発生装置の発生部又は紫外線発生装置の発生部のいずれかを用い、制御装置、制御装置と高電圧ケーブルとの接続部及びイオン化源と高電圧ケーブルとの接続部を防爆構造とする。

請求項（抜粋）：

チャンバ内に供給されたイオン搬送ガスの一部をイオン化するイオン化部と、帯電体に向かってイオン搬送ガスを供給する吹出部を有するチャンバを備え、前記イオン化部が、前記チャンバに内蔵されたイオン化源と、前記チャンバの外部に設けられ、高電圧ケーブルを介して前記イオン化源によるイオン発生量を制御する制御装置とから構成された防爆型無発塵イオナイザーにおいて、前記イオン化源が、軟X線発生装置の発生部、低エネルギー電子線発生装置の発生部又は紫外線発生装置の発生部のいずれかであり、前記制御装置、前記制御装置と高電圧ケーブルとの接続部及び前記イオン化源と高電圧ケーブルとの接続部が防爆構造とされていることを特徴とする防爆型無発塵イオナイザー。

IPC (2件)：

H05F 3/06 , H01T 23/00

FI (2件)：

H05F 3/06 , H01T 23/00

Fターム (3件)：

5G067AA21 , 5G067AA70 , 5G067DA24

引用特許：

審査官引用 (6件)

軟X線を利用した除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-181639 出願人：シシド静電気株式会社, 浜松ホトニクス株式会社
光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-126505 出願人：株式会社ブリヂストン
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-018750 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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