特許
J-GLOBAL ID：200903093330044857

液体材料吐出装置、液体材料の吐出体積の制御方法、および当該方法を用いた電子部品製造方法

発明者：
大津 芳文

大津 芳文 について

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水野 亨

水野 亨 について

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小野関 善宏

小野関 善宏 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-246289
公開番号（公開出願番号）：特開2001-327905
出願日： 2000年08月15日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：
【要約】【課題】対象物に対して、一定の微少体積の液体材料を吐出し、塗布等する液体材料の吐出方法および装置において、塗布等の工程中における吐出体積の実測を可能とし、微少吐出体積の制御を可能とする。【解決手段】液体材料を保持するシリンジに対して圧力を付加して液体材料を吐出させる装置において、シリンジの吐出口から吐出された液体材料の形状を撮像し、撮像された形状からその体積を求め、求められた体積に基づいてシリンジに付加される圧力およびその付加時間を制御することとする。
請求項（抜粋）：
液体材料を内部に保持し前記液体を吐出するための吐出口を有するシリンジと、前記シリンジ内部に対して圧力媒体を用いて付加する圧力の値および前記圧力の付加時間の少なくとも一方を制御する圧力制御部とを有する液体材料吐出装置であって、前記シリンジの吐出口から吐出された前記液体材料の吐出時の形状を撮像する撮像装置と、撮像された前記液体材料の形状から前記吐出された液体材料の体積を算出する画像処理部とをさらに有し、算出された前記吐出された液体材料の体積に基づいて前記圧力制御部は前記圧力媒体により付加される圧力の値および圧力の付加時間の少なくとも一方を制御することを特徴とする液体材料吐出装置。
IPC (6件)：
B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  B05D 3/00 ,  B05D 7/24 301 ,  G01F 13/00 301 ,  H01L 21/56
FI (7件)：
B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  B05D 3/00 B ,  B05D 3/00 D ,  B05D 7/24 301 K ,  G01F 13/00 301 V ,  H01L 21/56 E
Fターム (27件)：
4D075AC06 ,  4D075AC84 ,  4D075AC94 ,  4D075AC95 ,  4D075CA03 ,  4D075CA23 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075EA14 ,  4D075EA35 ,  4F041AA06 ,  4F041AB02 ,  4F041BA05 ,  4F041BA38 ,  4F042AA07 ,  4F042BA02 ,  4F042BA06 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12 ,  4F042BA19 ,  4F042BA27 ,  4F042CB10 ,  4F042CB11 ,  5F061AA01 ,  5F061BA03 ,  5F061CA04
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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