特許

J-GLOBAL ID：200903093395796651

パターン検査方法及び装置

発明者： 竹内 直哉
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (5件)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  土屋 繁 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-063934
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273850
出願日： 2003年03月10日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】ダイ比較する画像の位置ずれ検出と補正の精度を向上。【解決手段】複数のパターン101が配列された被検査物13を走査して複数のパターンの画像を取得する画像取得部11,12,14,15,16,17,18と、取得した画像を記憶する画像記憶部51,52と、隣接するパターンの画像の位置情報を検出する位置情報検出部22と、検出した位置情報に基づいて隣接するパターンの画像の位置の補正量を決定する補正決定部22と、位置関係を補正した画像を比較するパターン比較部23,24とを備えるパターン検査装置であって、位置情報補正部22は、パターン内の離れた複数箇所の画像の位置情報から補正量を決定する。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

複数の同一パターンが配列された被検査物を走査して前記複数のパターンの画像を取得し、 隣接する同一パターンの画像の位置情報を検出し、 検出した位置情報に基づいて、隣接する同一パターンの画像の位置関係を補正するための補正量を決定し、 前記補正量に基づいて位置関係を補正した画像を比較する検査方法であって、 前記補正量は、パターン内の互いに離れた複数箇所の画像の位置を含む情報から決定することを特徴とするパターン検査方法。

IPC (3件)：

H01L21/66 ,  G01B11/00 ,  G01N21/956

FI (3件)：

H01L21/66 J ,  G01B11/00 H ,  G01N21/956 A

Fターム (44件)：

2F065AA20 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF41 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL08 ,  2F065LL46 ,  2F065MM01 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ11 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ38 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051EA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA24 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB11 ,  4M106DB18 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ21

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 回路パターンの検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-208749   出願人：株式会社日立製作所