走査型近視野原子間力顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054093
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260808
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】試料の光透過性や導電性の有無にかかわらず、試料の表面形状および光特性の測定を高解像度で行うことができる装置において、試料特性測定光の照射位相を変化させ、光特性像の分解能を向上させる。【構成】光特性測定用光源3の射出光は光変調手段1により振幅変調され、バイモルフ5に設置された光伝搬体プローブ4に導入される。光変調手段1の位相や間欠比は、移相器2によって調整される。試料特性測定光はプローブ4の先端から試料9の表面に照射され、試料9を透過または散乱した光や試料9から発生した蛍光などは、レンズ10で平行光にされ、ミラー11、フィルター12を介して光電変換素子13に導入される。ミラー11、レンズ10および試料9は、縦横深さ方向の移動が可能な粗動機構14および微動機構15の上に設置されている。

請求項（抜粋）：

光伝搬体からなるプローブと、前記プローブの先端と試料の間を相対的に垂直方向に振動させる振動手段と、前記試料に光を照射する光源と、前記光を前記プローブの振動と同期して振幅変調する光変調手段と、前記光変調手段での位相または間欠率を変化させる移相器と、前記プローブの変位を光学的に検出する変位検出手段と、前記試料からの光を検出するための光電変換素子および光学系と、前記試料と前記プローブを相対移動させる粗動機構および微動機構と、装置全体を制御する制御装置を有し、試料表面の形状および光学特性を観察する構成であることを特徴とする走査型近視野原子間力顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , G01B 11/30

引用特許：

出願人引用 (6件)

特許第2704601号
特開平4-136743
限界寸法測定装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-216049 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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