特許
J-GLOBAL ID：200903093435680953
誘導結合プラズマ質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-196887
公開番号（公開出願番号）：特開2003-016990
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：
【要約】【課題】 試料溶液中の微量不純物元素の同定・定量を行う誘導結合プラズマ質量分析装置において、感度を確保しつつ低価格化する。【解決手段】 第一真空室6の排気を、第一粗引きポンプ5bと高真空ポンプ10,11の粗排気用の第二粗引きポンプ14cの2台で行う。
請求項（抜粋）：
試料中の不純物元素の分析を行う目的で、サンプリングコーンとスキマーコーンとイオンレンズと質量分析器と検出器と、前記サンプリングコーンと前記スキマーコーンに挟まれた第一真空室の排気を行うための第一粗引きポンプおよび第一配管と、前記イオンレンズが設置された第二真空室および前記検出器が設置された第三真空室を排気する高真空ポンプと、前記高真空ポンプの粗排気を行うための第二粗引きポンプおよび第二配管を備えた誘導結合プラズマ質量分析装置において、前記第一配管と前記第二配管の間を第三配管で接続し、前記第三配管の途中にインターフェースバルブを設置し、分析を行う動作状態の時には前記インターフェースバルブが開状態になり前記第一真空室の排気を前記第一粗引きポンプおよび前記第二粗引きポンプの2台で行ったことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/24
, G01N 27/62 F
