特許
J-GLOBAL ID：200903093442243895
電子放出用電極およびその製造方法並びにそれを用いた蛍光 管
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-102005
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102272
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【課題】 冷陰極蛍光管などにおいて、放電電圧を低くすることができる上、放電によるスパッタを抑制することができるようにする。【解決手段】 電極基板洗浄工程1において、Ni-Cr系材料やニッケルなどからなる電極基板を洗浄する。次に、電子放出膜形成用膜形成工程2において、電極基板の表面にイットリウム膜を成膜する。次に、酸化工程3において、酸素あるいは酸素含有物の含有率が1体積%以下の水素雰囲気中で加熱することにより、電極基板表面に酸化イットリウム(Y2O3-z、0≦z≦1.0)膜を形成する。このようにして製造された電子放出用電極を冷陰極蛍光管などに用いると、放電電圧を低くすることができる上、放電によるスパッタを抑制することができる。
請求項（抜粋）：
強電界により電子を放出するR2O3型の酸化物(Rは希土類元素のみで構成される原子または原子団、Oは酸素)からなる電子放出膜を有することを特徴とする電子放出用電極。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 31/12
, H01J 61/06
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 B
, H01J 31/12 C
, H01J 61/06 K
