特許
J-GLOBAL ID：200903093450036270

単層固定砥粒ワイヤーソー及びその製造方法並びに切断方法

発明者：
鍋谷 忠克

鍋谷 忠克 について


出願人/特許権者：
株式会社リード

株式会社リード について


代理人 (3件)： 林 宏 ,  後藤 正彦 ,  林 直生樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-026981
公開番号（公開出願番号）：特開2004-237376
出願日： 2003年02月04日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】線径が細くてほぼ均一となり、切断加工時におけるカーフ幅を小さくできると共に、切断加工の結果、面精度の良好な切断面を得ることができて、材料の歩留まりを向上させることができ、加工効率も向上させることが可能な単層固定砥粒ワイヤーソー、並びにシリコンインゴットの切断方法を提供する。【解決手段】高強度の芯線1を一定の速度で送りながら、浸漬脱脂槽、酸浸漬槽及び水洗槽の前処理工程を経て、接着剤塗布装置にて芯線1の外周面上に点状に接着剤をほぼ均等に分布させて塗布することにより、接着部2bを形成し、その後、砥粒吹付装置にて砥粒2aを上記接着部2bに単層に仮固着させる。最後に、電解めっきにより砥粒2aを本固着させることにより、単層固定砥粒ワイヤーソーを得る。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
高強度の芯線の外周面上において、接着剤で形成されたほぼ均等に分布する多数の接着部に仮固着された単層の砥粒が、該芯線の外周面を被覆する結合材層により本固着されていることを特徴とする単層固定砥粒ワイヤーソー。
IPC (5件)：
B24D11/00 ,  B24B27/06 ,  B24D3/00 ,  B24D3/06 ,  H01L21/304
FI (7件)：
B24D11/00 G ,  B24B27/06 H ,  B24D3/00 320A ,  B24D3/00 320B ,  B24D3/00 340 ,  B24D3/06 B ,  H01L21/304 611W
Fターム (14件)：
3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058DA03 ,  3C063AA08 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BC02 ,  3C063BG01 ,  3C063CC09 ,  3C063CC16 ,  3C063EE10 ,  3C063EE31
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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