特許
J-GLOBAL ID：200903097715500182

超砥粒ワイヤソーおよびそのソーの製造方法

発明者：
ブルジャン,セルゲイ-トミスラフ

ブルジャン,セルゲイ-トミスラフ について

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アンドリューズ,リチャード エム.

アンドリューズ,リチャード エム. について

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ギアリー,アール ジー.

ギアリー,アール ジー. について


出願人/特許権者：
サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド

サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-535477
公開番号（公開出願番号）：特表2003-525130
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2003年08月26日
要約：
【要約】ワイヤソーは、小さな径の金属ワイヤ、ならびにろう付けもしくははんだ付けの活性な金属結合剤によってワイヤ表面に固着された砥粒層を有する。砥粒は、予め選択された表面分布でワイヤ表面に配置される。ワイヤソーは、一時的な液状バインダー成分を配合した金属結合剤粉末成分のペーストで、ワイヤを被覆することを含む完全に連続した方法によって製造されることができる。砥粒はそのペースト層に付着される。その後、この結合剤組成物は高温で溶融して、砥粒をワイヤにろう付けする。この砥粒は、ダイアモンドおよび立方晶窒化ホウ素のような、超砥粒材料を含みうる。したがって、この新規なワイヤソーは、加工物の損耗を最小にして、超薄セラミックウェハを切断するのに適している。
請求項（抜粋）：
金属ワイヤ、ならびにろう付け金属結合剤およびはんだ付け金属結合剤からなる群から選ばれる金属結合剤によりワイヤに直接に固着された砥粒を有する砥粒層を含み、砥粒は超砥粒を含むワイヤソー。
IPC (8件)：
B24D 11/00 ,  B23D 61/18 ,  B24D 3/00 310 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/06 ,  B24B 27/06 ,  B28D 5/04
FI (8件)：
B24D 11/00 G ,  B23D 61/18 ,  B24D 3/00 310 B ,  B24D 3/00 320 B ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/06 C ,  B24B 27/06 H ,  B28D 5/04 C
Fターム (23件)：
3C058AA09 ,  3C058CB04 ,  3C058CB05 ,  3C058CB06 ,  3C058DA03 ,  3C063AA08 ,  3C063AB09 ,  3C063BB02 ,  3C063BB24 ,  3C063BC02 ,  3C063BG01 ,  3C063BG03 ,  3C063CC09 ,  3C063EE10 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB01 ,  3C069BB02 ,  3C069CA01 ,  3C069CA04 ,  3C069CA10 ,  3C069EA01 ,  3C069EA02
引用特許：
出願人引用 (9件)
  • 特開平3-104553
  • 特開平3-079264
  • コーティングされた超砥粒を有する研磨工具
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-055488   出願人：ノートンカンパニー
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審査官引用 (11件)
  • 特開平3-104553
  • 特開平3-104553
  • 特開平3-079264
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