特許

J-GLOBAL ID：200903093461851634

両面研磨用キャリア

発明者： 鵜澤 昭彦
出願人/特許権者： 株式会社ユーティーケー・システム ,  有限会社コスモテック ,  金井 邦之
代理人 (1件)： 福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283164
公開番号（公開出願番号）：特開2001-105303
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 簡単にかつ短時間で作製でき、耐久性も向上でき、研磨工程に要するコストを低減できるようにする。【解決手段】 この発明の両面研磨用キャリア7は、複数のワーク収納孔71...を有する、金属(例えばSK材やSUS材)からなるキャリア本体70と、ワーク収納孔71...の内周面に融着固定して形成した、樹脂材からなるワーク保持部72...とからなり、このワーク保持部72...の各々はその内方にワーク保持用孔73...を有している、ことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

薄肉状のワークの両面研磨に使用する両面研磨用キャリアにおいて、ワーク収納孔を有する、金属からなるキャリア本体と、上記キャリア本体のワーク収納孔の内周面に融着固定して形成した、樹脂材からなるワーク保持部と、からなり、このワーク保持部に形成したワーク保持用孔にワークを保持するようにした、ことを特徴とする両面研磨用キャリア。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 C ,  H01L 21/304 621 A ,  H01L 21/304 622 G

Fターム (12件)：

3C058AA07 ,  3C058AA18 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058AC04 ,  3C058CB02 ,  3C058CB05 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09 ,  3C058DA18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ラッピングキャリアおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-293107   出願人：株式会社オプトニクス精密