特許
J-GLOBAL ID：200903093462811229
物性値の測定方法および走査形プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西教 圭一郎
, 杉山 毅至
, 廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-085746
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294218
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】試料の表面電位分布を、高感度で検出する。【解決手段】非接触原子間力顕微鏡NC-AFMにおいて、カンチレバー3の先端部に固定された探針14を、試料4に非接触状態で、圧電アクチュエータ2によって、自励発振ループ27で共振周波数ωで自励振動する。この探針14の振動と90度ずれた位相を有する散逸力信号である励振信号を、散逸力変調装置24において、共振周波数ωよりも充分に低い変調周波数ωmを有する発振器51からの変調信号で振幅変調して交流信号を作成し、さらに直流バイアス回路によって、共振周波数ωの振動振幅Aの変化量ΔAに含まれる変調周波数ωm成分ΔAmを打ち消す直流バイアス信号Vbiasを作成し、加算回路53で加算して、探針-試料間に与える。この直流バイアス信号Vbiasに対応する接触電位差VCPDを検出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
探針を試料に対して非接触で、共振周波数ωで自励振動させ、
この探針-試料間に、
直流バイアス信号Vbiasと、
その共振周波数ωと同一の周波数を有しかつ探針の振動と90度ずれた位相を有する散逸力信号を、共振周波数ωよりも充分に低い変調周波数ωmを有する変調信号で振幅変調した交流信号とを、
印加し、
探針の振動振幅Aの変化量ΔAに含まれる変調周波数ωm成分ΔAmを打ち消すように、直流バイアス信号Vbiasを、フィードバック制御し、
直流バイアス信号Vbiasに対応する探針-試料間の接触電位差VCPDを検出することを特徴とする物性値の測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
2F069AA60
, 2F069GG04
, 2F069GG18
, 2F069GG62
, 2F069HH04
, 2F069HH30
, 2F069JJ15
, 2F069LL03
, 2F069MM23
, 2F069MM31
, 2F069NN02
, 2F069NN15
, 2F069NN16
