特許
J-GLOBAL ID:200903093501325787

ピレンスルホン酸オニウム塩化合物、該化合物の製造方法、該化合物を用いた感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性材料。

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-067267
公開番号(公開出願番号):特開2003-267949
出願日: 2002年03月12日
公開日(公表日): 2003年09月25日
要約:
【要約】【課題】365nm光に分光感度を示す感光性樹脂組成物では、高感度な光酸発生剤化合物が求められている。【解決手段】酸の作用によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増大するポリマーと光酸発生剤を基本的に有する感光性材料において、光酸発生剤としてスルホン酸オニウム塩部を多く有するピレンスルホン酸オニウム塩化合物を使用することにより、好感度にポジ型挙動を示す感光性材料を提供できる。
請求項(抜粋):
下記一般式(1)で表されるピレンスルホン酸オニウム塩化合物。【化1】〔上記式中、R1はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、無置換又は置換アリール基アルコキシ基、アルコキシアルキル基、ヒドロキシル基、アルケニル基、アシル基、アシルオキシ基、ニトロ基、カルボキシル基、シアノ基、無置換又は置換アリールオキシ基、無置換又は置換アリールチオ基、アラルキル基、ハロアルキル基、無置換又は置換シクロアルキル基、アルコキシカルボニル基、メルカプト基、またはハロゲン(フッ素、塩素、臭素、ヨウ素)原子を表し、R1は縮合環の4つの環のどの位置に付ても良く、aは0〜8までの整数を表し、スルホン酸基は縮合環の4つの環のどの位置に付ても良く、eは2〜10までの整数を表し、dは0〜8までの整数を表す。また、Xは硫黄原子またはヨウ素原子を表し、オキソヨードニウム、オキソスルホニウム構造をとってもよい。Yはリチウム、ナトリウムカリウム、マグネシウム、カルシウム又は4級アンモニウムを表す。R2、R3よびR4はアルキル基、無置換又は置換アリール基、無置換又は置換アリールオキシ基、無置換又は置換アリールチオ基、アシル基無置換又は置換シクロアルキル基又は複素環基を表す。また、R2、R3およびR4が連結して環を形成してもよい。b、cおよびfは0〜3の整数を表す。なお、アルキル基芳香族炭化水素環および複素環は、さらにアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシル基、無置換又は置換アリール基、無置換又は置換アリールオキシ基、無置換又は置換アリールチオ基、アシル基アシルオキシ基、アルケニル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、無置換又は置換芳香族スルホン酸基、置換アミノ基または複素環基などの置換基を有してもよい。mは1,2又は3を表す。〕
IPC (11件):
C07C381/12 ,  C07C 25/18 ,  C07C303/22 ,  C07C309/38 ,  C07C309/39 ,  C07C309/43 ,  C07D333/46 ,  C08K 5/42 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (11件):
C07C381/12 ,  C07C 25/18 ,  C07C303/22 ,  C07C309/38 ,  C07C309/39 ,  C07C309/43 ,  C07D333/46 ,  C08K 5/42 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (18件):
2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AB76 ,  4H006AC61 ,  4J002CC011 ,  4J002CC031 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-154059
  • ポジ型感光性組成物
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-125949   出願人:富士写真フイルム株式会社

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