特許

J-GLOBAL ID：200903093502585499

静電チャック

発明者： セミョン シャースティンスキー ,  シャモイル シャモイリアン ,  マヌーチャー ビラング ,  アルフレッド マク ,  サイモン ダブリュー. タム
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039938
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046019
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】 ウェハ全面、特に辺縁にわたって効率よく冷却し、縁における固定作用及びウェハ接触を改善し、有効製品寿命を長くすること。【構成】 ペデスタル(34)の上に半導体ウェハを固定する静電チャックであって、ウェハの下に冷却ガスを導入する複数の開口(46)を有する。複数の開口(46)はウェハ縁付近の過熱を減じるとともにウェハ両端の温度勾配を低下させる。ウェハは、積層板(12)が電極層の外縁からの実質的な距離についてウェハに対して平らな面を示すように、2つの誘電層の間に挟まれた電極層の積層板に対する静電力によって保持される。この積層構造は、縁付近での冷却ガス漏れを最少にするために電極の外縁の向こうで大きなウェハ面が積層板(12)と接触状態にあることを確実にし、かつ電極層と有害となるチャックを取り囲むプラズマ材料との間の誘電材料の経路の長さを増大させることにより有効寿命を長くする。

請求項（抜粋）：

加工部材を支持するためのペデスタル;絶縁銅電極を含む積層板(laminate)であって、ペデスタルに装着され、上記銅電極に電圧を印加すると上記加工部材が上記積層板に静電的に固定される前記積層板;及び上記加工部材を下から冷却するガスを送るために上記ペデスタルと上記積層板を通って上に伸びている複数の穴であって、該穴の多くが加工部材の外周付近に配置されている前記複数の穴;を備える静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭62-094953
  
• 特開昭62-264638
  
• 特開平4-100255
  
• 特開平4-371579
  
• セラミック静電ウェーハ・チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-260936   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション