特許
J-GLOBAL ID：200903093552441242
弾性表面波モジュール素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-184844
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031942
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 電力効率の高い弾性表面波モジュール素子の構造とその製造方法を提供する。【解決手段】 基板4の上にLiTaO3 薄膜5を形成し、その上にLiTaO3 よりも電気機械結合係数の大きい圧電性薄膜6を積層形成する。さらに、圧電性薄膜6の上に弾性表面波送信用電極7及び受信用電極8を形成する。この場合、基板4の上にLiTaO3 薄膜5を形成した後、直ちに圧電性薄膜6を形成する。
請求項（抜粋）：
基板上にLiTaO3 薄膜が形成され、その上にLiTaO3よりも電気機械結合係数の大きい圧電性薄膜が積層形成され、さらにその上に弾性表面波送信用及び受信用の電極が形成された弾性表面波モジュール素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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