特許

J-GLOBAL ID：200903093570463261

マイクロ・ボロメータ素子

発明者： 山岸 秀章 ,  原 仁
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136315
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318450
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 作製が容易で高感度・小型であるマイクロ・ボロメータ素子を実現する。【解決手段】 赤外線の電磁波のエネルギーによる物性変化を熱に変換しこの温度変化を抵抗値変化として検出するマイクロ・ボロメータ素子において、入射光である空間伝播光を平面光導波路内の伝播光に結合させ特定領域に集光させる集光手段と、特定領域に配置されるボロメータとを備え、集光手段及びボロメータを一体化してマイクロ化する。

請求項（抜粋）：

赤外線の電磁波のエネルギーによる物性変化を熱に変換しこの温度変化を抵抗値変化として検出するマイクロ・ボロメータ素子において、入射光である空間伝播光を平面光導波路内の伝播光に結合させ特定領域に集光させる集光手段と、前記特定領域に配置されるボロメータとを備え、前記集光手段及び前記ボロメータを一体化してマイクロ化したことを特徴とするマイクロ・ボロメータ素子。

IPC (3件)：

G01J 5/02 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/08

FI (3件)：

G01J 5/02 C ,  G01J 1/02 C ,  G01J 5/08 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光ディスク装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-079264   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-248136
  
• 熱映像検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-131308   出願人：株式会社村田製作所