XYZテーブル

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340365
公開番号（公開出願番号）：特開2002-142438
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】従来のリニアモータ付XYZテーブルは、漏れ磁束支持機構の負担の課題がある。【解決手段】電機子の一方の磁極に磁気的に結合され、該可動子の移動方向に対し略垂直方向に第1段及び第2段に分けて配列した一方の磁極歯列と、可動子の他方の磁極に磁気的に結合され、該可動子の移動方向に対し略垂直方向に第1段及び第2段に分けて配列した他方の磁極配列とを有し、該一方に設けた磁極配列の第1段の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列の第1段の磁極歯が該可動子の移動方向に対して交互に配置され、該一方に設けた磁極配列の第2段の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列の第2段の磁極歯が該可動子の移動方向に対して交互に配置され、該一方及び該他方の第1段の磁極歯列と該一方及び該他方に設けた第2段の磁極歯列の間に該可動子が配列されたリニアモータを用いる。

請求項（抜粋）：

ベース,複数の直線案内装置,ステージ,X軸駆動リニアモータ,Y軸駆動リニアモータとZ軸駆動リニアモータを設けたリニアモータ付XYZテーブルにおいて、該リニアモータは電機子と相対的に移動可能な可動子からなるリニアモータであって、該リニアモータは更に前記電機子の一方の磁極に磁気的に結合され、該可動子の移動方向に対し略垂直方向に第1段及び第2段に分けて配列した一方の磁極歯列と、前記可動子の他方の磁極に磁気的に結合され、該可動子の移動方向に対し略垂直方向に第1段及び第2段に分けて配列した他方の磁極配列とを有し、該一方に設けた磁極配列の第1段の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列の第1段の磁極歯が該可動子の移動方向に対して交互に配置され、該一方に設けた磁極配列の第2段の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列の第2段の磁極歯が該可動子の移動方向に対して交互に配置され、該一方及び該他方の第1段の磁極歯列と該一方及び該他方に設けた第2段の磁極歯列の間に該可動子が配列されたリニアモータを用いることを特徴とするXYZテーブル。

IPC (7件)：

H02K 41/03 , B23Q 5/28 , G12B 5/00 , H01L 21/68 , H02K 41/02 , H02P 7/00 101 , H02P 7/67

FI (7件)：

H02K 41/03 A , B23Q 5/28 B , G12B 5/00 T , H01L 21/68 K , H02K 41/02 C , H02P 7/00 101 B , H02P 7/67 D

Fターム (44件)：

2F078CA08 , 2F078CB09 , 2F078CB10 , 2F078CB12 , 2F078CB13 , 2F078CC16 , 2F078CC18 , 5F031HA53 , 5F031KA06 , 5F031LA08 , 5H540AA06 , 5H540AA10 , 5H540BA03 , 5H540BB02 , 5H540BB07 , 5H540BB08 , 5H540FA02 , 5H540FA06 , 5H540FC02 , 5H540FC03 , 5H572AA20 , 5H572BB02 , 5H572DD10 , 5H572EE03 , 5H572HC09 , 5H572LL22 , 5H572LL24 , 5H572LL31 , 5H641BB06 , 5H641BB15 , 5H641BB16 , 5H641BB18 , 5H641GG03 , 5H641GG04 , 5H641GG06 , 5H641GG12 , 5H641GG24 , 5H641GG26 , 5H641HH02 , 5H641HH12 , 5H641JA02 , 5H641JA06 , 5H641JA07 , 5H641JA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

リニアモータ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-052265 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (1件)

リニアモータ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-052265 出願人：株式会社日立製作所

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