熱線型半導体式ガス検知素子及びガス検知装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-080203
公開番号（公開出願番号）：特開平9-269308
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】熱線型半導体式ガス検知素子の体積を小さく形成する場合に、効率よく消費電力の抑制を達成させ易くする技術を提供すること。【解決手段】貴金属線コイル2を覆って酸化スズを主成分とする半導体から形成される感応部3を設けてある熱線型半導体式ガス検知素子であって、前記感応部3を、その長径が短径の1.5倍以下で、かつ、体積が8.2×10-3mm3以下に形成し、前記貴金属線コイル2のコイル部2aから前記感応部3の外表面までの距離を50μm以下に形成してある。

請求項（抜粋）：

貴金属線コイルを覆って酸化スズを主成分とする半導体から形成される感応部を設けてある熱線型半導体式ガス検知素子であって、前記感応部を、その長径が短径の1.5倍以下で、かつ、体積が6.5×10-5mm3 以上8.2×10-3mm3 以下に形成し、前記貴金属線コイルのコイル部から前記感応部外表面までの距離を50μm以下に形成してある熱線型半導体式ガス検知素子。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , G01N 27/18

FI (3件)：

G01N 27/12 B , G01N 27/12 D , G01N 27/18

引用特許：

審査官引用 (12件)

熱線型半導体式センサとその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-318123 出願人：新コスモス電機株式会社
特開平1-206252
特開平1-206252

全件表示

前のページに戻る