ウエハ保持装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330680
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163109
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】冷却又は加熱機能を有する金属製の温度制御装置との接合において、接合部の熱伝達特性を損なうことなく、強固に接合することができるウエハ保持装置を提供する。【解決手段】静電吸着用電極、ヒータ電極、プラズマ発生用電極をなす内部電極5,6を備えたセラミック体3の上面をウエハWの保持面4としてなるウエハ保持基体2と、該ウエハ保持基体2を構成するセラミック体3との熱膨張差が3×10-6/°C以下であり、気孔部13に金属14を充填した多孔質セラミック体12からなるベース基体11よりなり、上記ウエハ保持基体2の下面にアルミニウムを主成分とするロウ材9を介して上記ベース基体11をロウ付け接合してウエハ保持装置1を構成する。

請求項（抜粋）：

内部電極を備えたセラミック体の上面をウエハの保持面としてなるウエハ保持基体と、該ウエハ保持基体を構成するセラミック体との熱膨張差が3×10-6/°C以下であり、気孔部に金属を充填した多孔質セラミック体からなるベース基体よりなり、上記ウエハ保持基体の下面にアルミニウムを主成分とするロウ材を介して上記ベース基体をロウ付け接合してなるウエハ保持装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-100701 出願人：株式会社創造科学, 有限会社宮田技研

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