特許
J-GLOBAL ID：200903093644282450
磁気抵抗効果素子を有する基板及びその製造方法、ならびに磁気抵抗効果素子を有する基板の加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-354341
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182219
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 基板上に形成されたモニター素子の直流抵抗を測定しながら、ハイト出し加工を施すと、モニター素子の上下にギャップ層を介して形成されたシールド層にスメアリング(だれ)が生じ、このスメアリングによって、モニター素子とシールド層とがショートし、適性に直流抵抗を測定できないといった問題があった。【解決手段】 下部シールド層26には凹部26aが形成され、この凹部26a内に絶縁層28が形成されている。そして前記絶縁層28の上には下部ギャップ層27を介してモニター素子22が形成されている。前記絶縁層28の形成により、モニター素子22と下部シールド層26との間隔は大きくなり、下部シールド層にスメアリングが生じても、電気的な接続を防止できる。
請求項（抜粋）：
基板上に下部シールド層とその上の下部ギャップ層とが形成され、磁気抵抗効果を発揮する多層膜と前記多層膜に導通する電極層を有する複数の磁気抵抗効果素子、及び前記磁気抵抗効果素子と実質的に同じ構成の加工用のモニター素子とが、前記下部ギャップ層上に並んで配置された基板において、前記モニター素子と下部シールド層との間には、前記下部ギャップ層の他に絶縁層がABS面に露出して形成され、ABS面に現れるモニター素子と下部シールド層との間隔が、同じくABS面に現れる前記磁気抵抗効果素子と下部シールド層との間隔よりも広いことを特徴とする磁気抵抗効果素子を有する基板。
Fターム (8件)：
5D034BA02
, 5D034BA09
, 5D034BA15
, 5D034BA16
, 5D034BB01
, 5D034BB09
, 5D034DA02
, 5D034DA07
