ポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270389
公開番号（公開出願番号）：特開平11-171995
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】有機溶媒および金属イオンを含まない水性アルカリ現像剤に良好に溶解でき、光感性組成物に適し、遠心技術によって加工できるポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体を提供する。【解決手段】下記の部分構造式【化1】を含むポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体によって解決される。この場合、下記が成立する:A1 〜A7 は、相互に無関係であり、H,F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,OCF3 ,CH2 CH3 、CF2 CF3 、OCH2 CH3 またはOCF2 CF3 を表し;TはOまたはSを表し、mは0または1を表し;Zは芳香族基または複素環基を表す。

請求項（抜粋）：

下記の部分構造式[式中、A1 〜A7 は、相互に無関係であり、H,F,CH3 ,CF3 ,OCH3 ,OCF3 ,CH2 CH3 、CF2 CF3 、OCH2 CH3 またはOCF2 CF3 を表し;TはOまたはSを表し,mは0または1を表し;Zは下記の基(式中、Q=C-AまたはNであり、ここでA=H,F,(CH2)p CH3 、(CF2 )p CF3 ,O(CH2 )p CH3 、O(CF2 )p CF3 、CO (CH2 )p CH3 、CO(CF2 )p CF3 (ここでp=0〜8)(直鎖または分岐),OC(CH3 )3 ,OC(CF3 )3 ,C6 H5 、C6 F5 ,OC6 H5 、OC6 F5 ,シクロペンチル、ペルフルオルシクロペンチル、シクロヘキシルまたはペルフルオルシクロヘキシルであり、ここで分離された芳香族環には、環当り最大3つのN原子が存在でき、2つのN原子は隣接してよく、多環系には、環当り最大2つのN原子が存在でき、M=単一結合、(CH2 )n ,(CF2 )n ,CH(CH3 ),CH(CF3 ),CF(CH3 ),CF(CF3 ),C(CH3 )2 ,C(CF3 )2 ,CH(C6 H5 )、CH(C6 F5 ),CF(C6 H5 )、CF(C6 F5 ),C(CH3 )(C6 H5 )、C(CH3 )(C6 F5 )、C(CF3 )(C6 H5 )、C(CF3 )(C6 F5 )、C(C6 H5 )2 、C(C6 F5 )2 、CO,SO2 ,【化1】であり、ここでZ=フェニレンの場合またはm=0の場合、基A1 〜A7 の少なくとも1つは≠Hでなければならず【化2】の1つを表す]【化3】のポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリベンゾチアゾール前駆体。

IPC (4件)：

C08G 73/22 , C08G 69/32 , C08G 69/42 , G03F 7/032

FI (4件)：

C08G 73/22 , C08G 69/32 , C08G 69/42 , G03F 7/032

引用特許：

審査官引用 (5件)

耐高熱性ネガ型レジスト及び耐高熱性レリーフ構造体の製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-089649 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-117387 出願人：住友ベークライト株式会社
特開昭63-305130

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引用文献：

審査官引用 (1件)

CHEMICAL ABSTRACTS, 19870309, 第106巻第10号

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