特許

J-GLOBAL ID：200903093721336216

セラミックスヒーター及び加熱装置

発明者： 新居 裕介 ,  牛越 隆介 ,  左近 淳司 ,  梅本 鍠一
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-005343
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230876
出願日： 1994年01月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】窒化アルミニウム基体を使用したセラミックスヒーターにおいて、セラミックスヒーターを繰り返し昇温-降温試験に供したときに、抵抗発熱体の周辺で、基体にクラックが発生し、進展するのを防止することである。【構成】基体70は窒化アルミニウムからなる。抵抗発熱体22は、高融点金属からなり、基体70に埋設されている。端子が、抵抗発熱体22に対して電気的に接続され、基体70に埋設されている。基体70の熱膨張率以上の熱膨張率を有する高融点金属によって、端子が形成されている。基体70の熱膨張率以上の熱膨張率を有する高融点金属によって、抵抗発熱体22が形成されている。好ましくは、抵抗発熱体22がモリブデンからなるか、又は、モリブデン-タングステン合金からなり、この合金内におけるモリブデンの比率が50〜100%である。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムからなる基体と;この基体に埋設された、高融点金属からなる抵抗発熱体と;この抵抗発熱体に対して電気的に接続され、前記基体に埋設された端子とを備えたセラミックスヒーターであって、前記基体の熱膨張率以上の熱膨張率を有する高融点金属によって前記端子が形成されており、前記基体の熱膨張率以上の熱膨張率を有する高融点金属によって前記抵抗発熱体が形成されている、セラミックスヒーター。

IPC (2件)：

H05B 3/18 ,  H05B 3/20 356

引用特許：

審査官引用 (2件)

• セラミツクスヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-262300   出願人：日本碍子株式会社
• 特開平1-289089