特許
J-GLOBAL ID：200903093733477737

ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

発明者：
三好 一登

三好 一登 について

, 
諏訪 充史

諏訪 充史 について

, 
富川 真佐夫

富川 真佐夫 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-187775
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005369
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：
【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)アルカリ水溶液可溶性ポリイミド前駆体またはポリイミドと、(b)25°Cにおける塩基解離定数(PKb)が7以上である塩基性含窒素化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ水溶液可溶性ポリイミド前駆体またはポリイミドと、(b)25°Cにおける塩基解離定数(PKb)が7以上である塩基性含窒素化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (68件)：
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB42 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J043PA01 ,  4J043PA19 ,  4J043PB13 ,  4J043PB14 ,  4J043PB17 ,  4J043PC015 ,  4J043PC016 ,  4J043PC065 ,  4J043PC066 ,  4J043PC145 ,  4J043PC146 ,  4J043QB21 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA43 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA14 ,  4J043TA21 ,  4J043TA22 ,  4J043TA47 ,  4J043TA53 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA032 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA111 ,  4J043UA112 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA152 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA361 ,  4J043UA362 ,  4J043UA381 ,  4J043UA622 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB022 ,  4J043UB121 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043ZA51 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB47
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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