特許
J-GLOBAL ID：200903093738459567
エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-232238
公開番号（公開出願番号）：特開平11-061090
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 粘着シート剥離後に粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供すること。【解決手段】 本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、(A)親水性粘着剤と、(B)エネルギー線重合性化合物と、必要に応じ光重合開始剤(C)とからなることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
(A)親水性粘着剤と、(B)エネルギー線重合性化合物とからなることを特徴とするエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。
IPC (10件)：
C09J201/08
, C09J 4/06
, C09J 7/02
, C09J133/02
, C09J133/14
, C09J155/00
, C09J175/16
, H01L 21/301
, C08F290/06
, C08F299/06
C09J201/08
, C09J 4/06
, C09J 7/02 Z
, C09J133/02
, C09J133/14
, C09J155/00
, C09J175/16
, C08F290/06
, C08F299/06
, H01L 21/78 M
