特許
J-GLOBAL ID：200903093750870647

液処理装置および液処理方法

発明者：
黒田 修

黒田 修 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-092804
公開番号（公開出願番号）：特開2002-064075
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：
【要約】【課題】 液処理装置の奥部へ搬送された未処理基板の引き戻しが生ずる事態を防止して、スループットを向上させた液処理装置および液処理方法を提供する。【解決手段】 液処理装置1は、ウエハWに液処理を施す液処理部4と、ウエハWが収納されたキャリアCを搬入出するキャリア搬入出部5と、複数のキャリアを保管可能なキャリアストック部6と、キャリアストック部6と液処理部4の間でウエハWを搬送するインターフェイス部3と、キャリアを搬送するキャリア搬送装置12と、キャリアC内のウエハWを検査するウエハ検査装置18と、キャリア搬送装置12を制御するキャリア搬送装置制御部90とを有する。キャリア搬送装置制御部90は、ウエハWの検査結果に基づいて液処理が可能と判断されたキャリアCをキャリアストック部6に保管し、所定数のキャリアCについて検査が終了した後に液処理を開始するようにキャリア搬送装置12を制御する。
請求項（抜粋）：
基板に所定の液処理を施す処理部を有する液処理装置であって、複数の基板が収納されたキャリアを搬入出するキャリア搬入出部と、複数のキャリアを保管可能なキャリアストック部と、前記キャリアストック部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送部と、前記キャリア搬入出部に対してキャリアの搬入出を行い、キャリアストック部内においてキャリアを搬送するキャリア搬送装置と、前記キャリアストック部内に搬入されたキャリア内の基板の枚数および/または収納状態を検査する基板検査装置と、前記基板検査装置による検査結果に基づいて基板の液処理が可能と判断された場合に、前記キャリアをキャリアストック部に保管するように前記キャリア搬送装置を制御するキャリア搬送装置制御部と、を具備することを特徴とする液処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 648 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/68
FI (6件)：
H01L 21/304 648 B ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 L ,  H01L 21/30 572 B ,  H01L 21/306 J
Fターム (20件)：
2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096GA21 ,  5F031CA02 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA15 ,  5F031JA23 ,  5F031JA25 ,  5F031JA27 ,  5F031JA43 ,  5F031MA23 ,  5F031PA03 ,  5F043EE35 ,  5F043EE36 ,  5F043GG10 ,  5F046MA06 ,  5F046MA10
引用特許：
審査官引用 (3件)

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