特許

J-GLOBAL ID：200903093761246937

レーザ転写加工装置およびレーザ転写加工方法

発明者： 山本 達也 ,  笹川 智広 ,  井上 満夫
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059471
公開番号（公開出願番号）：特開平9-248686
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 ホログラムを用いて構成したレーザ加工光学系において高いレーザ利用効率を達成することができるレーザ転写加工装置およびレーザ転写加工方法を得ることを目的とする。【解決手段】 レーザ発振器1と、レーザ発振器1より発せられたレーザビームを集光する集光レンズ10と、集光されたレーザービームを、被加工物8に対する加工パターンに合わせて開口した開口部を透過させるマスク6と、マスク6を透過したマスクパターン像を被加工物に転写する転写レンズ7とを備え、レーザ発振器1のビーム射出側よりマスク6に至る光路の何れかの箇所に、加工パターンに合わせて干渉縞パターンを形成したホログラム9を配置した。

請求項（抜粋）：

レ-ザ発振器と、このレーザ発振器より発せられたレーザビームを集光する集光レンズと、集光されたレーザービームを、被加工物に対する加工パターンに合わせて開口した開口部を透過させるマスクと、このマスクを透過したマスクパターン像を前記被加工物に転写する転写レンズとを備え、前記レーザ発振器のビーム射出側より前記マスクに至る光路の何れかの箇所に、前記加工パターンに合わせて干渉縞パターンを形成したホログラムを配置したことを特徴とするレーザ転写加工装置。

FI (2件)：

B23K 26/06 Z ,  B23K 26/06 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レーザ転写加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-092716   出願人：三菱電機株式会社