特許
J-GLOBAL ID：200903093778066436
走査型プローブ顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-505983
公開番号（公開出願番号）：特表平10-506457
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】原子間力測定(AFM)モード(137)、走査型トンネル測定(STM)モード(138)、近視野分光測光モード(143)、近視野光学モード(151)および硬度試験モードを有する、対象(104)を検査するための走査型プローブ顕微鏡装置(100)が開示される。
請求項（抜粋）：
対象を検査するための走査型プローブ顕微鏡装置であって: 鋭い先端を備えたチップを有するプローブと; 前記チップと前記対象との非光学的相互作用を誘導および検出するための手段と; 前記チップに光を与えるために、前記チップに光学的に結合された光源と; 前記チップは、前記放出された光が前記対象と光学的に相互作用するように、前記与えられた光を前記鋭い先端で放出する形状であることと; 前記放出された光が前記対象と光学的相互作用して生じた光を検出するための光検出器とを具備した装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01N 37/00 B
, G01B 21/30 Z
, G01N 37/00 D
, G01N 37/00 F
