特許
J-GLOBAL ID:200903093779253078
サンドブラスト用感光性樹脂積層体
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-246397
公開番号(公開出願番号):特開2002-062645
出願日: 2000年08月15日
公開日(公表日): 2002年02月28日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 ガラス、低融点ガラス、セラミック等の被加工基材、特にプラズマディスプレイパネルに適用する際に、感度、解像度、密着性に優れ、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工でき、且つ支持体剥離装置を用いた場合に感光性樹脂層から支持体を容易に剥離できる感光性樹脂積層体、及びそれを用いた表面加工方法を提供する。【解決手段】 表面に剥離剤を形成した基材フィルムからなる支持体に、ポリウレタンプレポリマーとアルカリ可溶性高分子とエチレン性不飽和付加重合性モノマーと光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物より成る感光性樹脂層、及び必要に応じて保護層を順次積層し、それを用いて表面加工を行う。
請求項(抜粋):
表面に剥離剤が形成された基材フィルムからなる支持体(A)に、(i)末端に水酸基を有するポリマーまたはモノマーと、ポリイソシアネートと、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマーと、(ii)アルカリ可溶性高分子と、(iii)エチレン性不飽和付加重合性モノマーと、(iv)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物より成る感光性樹脂層(B)が積層されていることを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂積層体。
IPC (12件):
G03F 7/027 513
, B24C 1/04
, B24C 3/32
, B32B 27/40
, G03F 7/004 512
, G03F 7/40 521
, H01J 9/02
, H01J 11/02
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, C08F290/06
, C08F299/06
FI (12件):
G03F 7/027 513
, B24C 1/04 C
, B24C 3/32 D
, B32B 27/40
, G03F 7/004 512
, G03F 7/40 521
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, C08F290/06
, C08F299/06
Fターム (114件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AA16
, 2H025AB11
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC66
, 2H025BC83
, 2H025CA00
, 2H025CB43
, 2H025DA19
, 2H025DA33
, 2H025EA08
, 2H025FA42
, 2H096AA30
, 2H096BA05
, 2H096CA02
, 2H096HA23
, 4F100AK01B
, 4F100AK03B
, 4F100AK04
, 4F100AK12
, 4F100AK24B
, 4F100AK24K
, 4F100AK25B
, 4F100AK27
, 4F100AK51B
, 4F100AL05B
, 4F100AR00C
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100CA30B
, 4F100EJ91C
, 4F100GB41
, 4F100GB90
, 4F100JB08B
, 4F100JB14B
, 4F100JK06
, 4F100JL00
, 4F100JL14
, 4J011PA69
, 4J011PB40
, 4J011PC02
, 4J011PC08
, 4J011QA03
, 4J011QA12
, 4J011QA13
, 4J011QA22
, 4J011QA24
, 4J011QA33
, 4J011QA34
, 4J011QA45
, 4J011QA46
, 4J011QB16
, 4J011QB19
, 4J011QB20
, 4J011RA03
, 4J011SA14
, 4J011SA16
, 4J011SA20
, 4J011SA22
, 4J011SA25
, 4J011SA28
, 4J011SA34
, 4J011SA54
, 4J011SA58
, 4J011SA64
, 4J011SA77
, 4J011SA78
, 4J011SA82
, 4J011SA83
, 4J011SA84
, 4J011SA88
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J027AC04
, 4J027AE02
, 4J027AG03
, 4J027AG04
, 4J027AG05
, 4J027AG13
, 4J027AG14
, 4J027AG23
, 4J027AG24
, 4J027AG27
, 4J027AG33
, 4J027BA07
, 4J027BA08
, 4J027BA19
, 4J027BA21
, 4J027BA23
, 4J027BA24
, 4J027BA26
, 4J027CA03
, 4J027CB10
, 5C027AA09
, 5C040FA01
, 5C040FA02
, 5C040GF02
, 5C040GF03
, 5C040GF19
, 5C040JA17
, 5C040MA23
, 5C040MA26
引用特許:
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