特許
J-GLOBAL ID:200903093789997130

搬送台車及び搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-034837
公開番号(公開出願番号):特開2005-225598
出願日: 2004年02月12日
公開日(公表日): 2005年08月25日
要約:
【課題】 設備スペースが増大することなく、搬送効率が低下するのを防止でき、装置が大型化したりコストアップしたりすることなく、ワークの向きを簡単に変えること。【解決手段】搬送台車は、天井に敷設されたレールに沿い台車本体10aが走行し、ウエハキャリアを保管庫及び工程間と工程内の各処理装置に搬送する。台車本体10aには昇降体30が昇降機構31によって昇降自在とされている。昇降体30には、荷物把持部36が設けられ、荷物把持部36は、把持部用回転機構40によって垂直軸回りに回動する。把持部用回転機構40は、昇降体30の底部に垂直軸回りに回動可能に埋設された旋回テーブル41と、旋回テーブル41の駆動源としての旋回モータ42とを有する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
天井に敷設された軌道を走行して、保管庫及び工程間と工程内の各処理装置に搬送する搬送台車であって、 台車本体と、該台車本体及び前記軌道間に設けられた走行機構と、前記台車本体を水平方向に移動すると共に回動させる位置合わせ機構と、前記台車本体に吊持された昇降体と、該昇降体を前記台車本体に対して昇降可能させる昇降機構とを備え、 前記昇降体は、ワークを把持する荷物把持部と、該荷物把持部を垂直軸回りに回動させる把持部用回転機構とを具備することを特徴とする搬送台車。
IPC (6件):
B66C11/08 ,  B61B3/02 ,  B61B13/06 ,  B65G49/07 ,  B66C13/22 ,  H01L21/68
FI (7件):
B66C11/08 ,  B61B3/02 B ,  B61B13/06 D ,  B65G49/07 C ,  B66C13/22 R ,  B66C13/22 V ,  H01L21/68 A
Fターム (35件):
3F203AA10 ,  3F203BA04 ,  3F203CA02 ,  3F203CC03 ,  3F203EC25 ,  3F203FA01 ,  3F204AA01 ,  3F204BA05 ,  3F204CA01 ,  3F204CA03 ,  3F204DA01 ,  3F204DB10 ,  3F204DC08 ,  3F204EA17 ,  3F204EB03 ,  3F204EB07 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA15 ,  5F031GA14 ,  5F031GA19 ,  5F031GA58 ,  5F031JA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA20 ,  5F031LA08 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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