特許

J-GLOBAL ID：200903093833488221

MOCVDによるヘテロ金属酸化物の成長用前駆体

発明者： リーダム ティモシー ジョン ,  ライト ピーター ジョン ,  クロスビー マイケル ジョン ,  ジョーンズ アンソニー コープランド
出願人/特許権者： イギリス国
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-557258
公開番号（公開出願番号）：特表2002-519354
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2002年07月02日
要約：

【要約】次式:Sr[M(OR1)6-xLx]2を有する、MOCVD法によってストロンチウムタンタル及びストロンチウムニオブ酸化物を蒸着させるための金属有機前駆体。(式中、xは1〜6であり;MはTa又はNbであり;R1は直鎖又は分岐鎖アルキル基であり;かつLは次式(I)のアルコキシド基である:【化1】(式中、nは0又は1であり;XはN又はOであり;R2及びR3は同一若しくは異なる直鎖若しくは分岐鎖アルキル基であり;かつR4は直鎖又は分岐鎖で、任意に置換されていてもよいアルキル鎖である。))

請求項（抜粋）：

次式の金属有機前駆体。 Sr[M(OR1)6-xLx]2(式中、xは1〜6であり; MはTa又はNbであり; R1は直鎖又は分岐鎖アルキル基であり;かつ Lは次式のアルコキシド基である:【化1】 (式中、nは0又は1であり、 XはN又はOであり、 R2及びR3は同一若しくは異なる直鎖若しくは分岐鎖アルキル基であり;かつ R4は直鎖又は分岐鎖で、任意に置換されていてもよいアルキル鎖である。))

IPC (6件)：

C07C217/06 ,  C07C 31/28 ,  C23C 16/40 ,  C23C 18/12 ,  C07F 7/00 ,  C07F 9/00

FI (6件)：

C07C217/06 ,  C07C 31/28 ,  C23C 16/40 ,  C23C 18/12 ,  C07F 7/00 Z ,  C07F 9/00 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• タングステンブロンズ型酸化物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-352107   出願人：株式会社高純度化学研究所
• 気相成長用金属ダブルアルコキシド組成物及びその供 給方法及びそれを用いた複合酸化物薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-144474   出願人：株式会社高純度化学研究所

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Journal of Materials Chemistry (1998), 8(11), 2315-2316