化学気相堆積装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322506
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167883
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】高温条件下においても、均一な膜厚で良質な単結晶膜を形成できる化学気相堆積装置を提供する。【解決手段】成膜すべき基板(1)に向けて原料ガスを供給するノズル(6)の昇温を防止する手段を設ける。具体的には、ノズルのほぼ全体に冷却手段(7)を設け、ノズルの昇温を防止する。又はノズル(6)の下側に遮蔽体(10a,10b)を設け基板用の加熱手段(3)から放出される赤外光を遮蔽する。さらに、加熱手段(3)の周囲に赤外光を遮蔽する遮蔽体(4)を設ける。

請求項（抜粋）：

成膜されるべき基板を支持するサセプタと、基板を所定の温度に加熱する加熱手段と、前記基板に向けて原料ガスを放出する出口開口を有し、基板の膜形成すべき表面にほぼ平行な方向から基板に向けて原料ガスを供給するノズルと、前記加熱手段から放射される赤外線を遮蔽する遮蔽手段と、前記ノズルのほぼ全体を冷却する冷却手段とを具えることを特徴とする化学気相堆積装置。

IPC (3件)：

C30B 25/10 , C30B 25/14 , H01L 21/205

FI (3件)：

C30B 25/10 , C30B 25/14 , H01L 21/205

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