特許
J-GLOBAL ID：200903093936338643
ダイヤモンド電子源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-215809
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031109
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：
【要約】【課題】 電子放出特性の温度依存性を抑制することができるダイヤモンド電子源を提供する。【解決手段】 ダイヤモンド電子源は、陰極1に対向した陽極2を有する構造のダイヤモンド陰極電子源において、陰極1の表面に酸素終端された領域5と水素終端された領域6を形成する。気相合成ダイヤモンド表面は、通常、水素終端表面であるが、例えば酸素イオンビームを入射エネルギー100eV、ドーズ量1012/cm2で照射すると、酸素終端領域5を部分的に形成できる。陰極コンタクト3、4は電極であり、ここから電子放出電流の電子を供給する。表面の電気伝導率の温度依存性は電子放出特性とは無関係なのでこのような構造で電子放出特性を抑えることができる。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンドを陰極とする電子源装置において、前記ダイヤモンドには酸素終端及び水素終端の表面処理を局部的に施し、正の温度特性を有する部分と負の温度特性を有する部分とが設けられていることを特徴とするダイヤモンド電子源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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