特許
J-GLOBAL ID：200903093956704255
ウェーハ研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-317907
公開番号（公開出願番号）：特開2000-141211
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：
【要約】【課題】リテーナーリング28を有するウェーハ研磨装置10において、ウェーハ50がリテーナーリング28に当接した時の衝撃力に起因するウェーハ50の損傷を防止すると共に、ウェーハ50の中心をキャリア24の中心軸上に保持した状態で研磨することによってウェーハ50の研磨精度を向上させる。【解決手段】本発明によれば、キャリア24の外周部にOリング74を介してリテーナーリング28を装着したので、ウェーハ50がリテーナーリング28に当接した時の衝撃力をOリング74で吸収することができる。また、本発明によれば、リテーナーリング28がキャリア24にガタ無く装着されているので、ウェーハ50の外周をリテーナーリング28で包囲し、ウェーハ50の中心をキャリア24の中心軸上に保持した状態で研磨することができる。
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持ヘッドに保持し回転する研磨定盤に押し付けて、ウェーハの表面を研磨する研磨装置において、前記保持ヘッドは、回転されると共に前記研磨定盤に対向配置されるヘッド本体と、前記ヘッド本体に上下方向移動自在に支持されたキャリアと、前記キャリアの下面に設けられると共に前記ウェーハの裏面に向けてエアを吹き出すことにより、キャリアとウェーハとの間に圧力エア層を形成するエア吹出部材と、前記キャリアを前記研磨定盤に向けて押圧することにより、前記ウェーハを前記圧力エア層を介して前記研磨定盤に押し付ける押圧手段と、前記キャリアの外周部に緩衝部材を介して装着され、ウェーハの研磨時に研磨布に押し付けられて前記キャリアからのウェーハの飛び出しを防止すると共に、ウェーハを包囲してウェーハの中心をキャリアの中心軸上に保持させるリテーナーリングと、から成るこを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B24B 37/00
, H01L 21/304 622
B24B 37/04 E
, B24B 37/00 B
, H01L 21/304 622 G
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA12
, 3C058AB03
, 3C058AB04
, 3C058AC04
, 3C058BA05
, 3C058BB04
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058CB02
, 3C058DA06
, 3C058DA12
