特許
J-GLOBAL ID：200903093993860941

プローブユニット及びその調節方法

発明者：
長谷川 義栄

長谷川 義栄 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-061604
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229965
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 液晶基板のサイズに合わせて複数のプローブブロックの位置を調節できるようにして、液晶基板のサイズが違っても共通のプローブユニットで対応できるようにする。【解決手段】 検査する液晶基板のサイズを10インチから12インチに変更するには、まず、第1可動ガイド46と第2可動ガイド56を、その固定を解除してから、第1静止ガイド44または第2静止ガイド54に沿って動かして、12インチの液晶基板に対応した位置まで移動し固定する。次に、各プローブブロック50を、その固定を解除してから、第1ガイド溝48または第2ガイド溝58に沿って動かして、12インチの液晶基板に対応した位置まで移動し固定する。これにより、各プローブブロック50のプローブ針の先端位置は、12インチの液晶基板のパッド領域に対応する。
請求項（抜粋）：
矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットにおいて、次の構成を備えるプローブユニット。(イ)X方向に延びるX辺と前記X方向に垂直なY方向に延びるY辺とを備える枠状のプローブベース。(ロ)前記プローブベースの前記X辺においてY方向に位置調節可能に取り付けられた第1可動ベース。(ハ)前記プローブベースの前記Y辺においてX方向に位置調節可能に取り付けられた第2可動ベース。(ニ)前記第1可動ベースに対してX方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。(ホ)前記第2可動ベースに対してY方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。
IPC (4件)：
G01R 1/073 ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 29/786
FI (4件)：
G01R 1/073 E ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 29/78 624
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 表示パネル用プローバ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-108750   出願人：株式会社日本マイクロニクス
  • 特開平3-218472
  • 特開平1-143982

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