複合センサ及びこれを用いた複合伝送器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-106813
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311110
出願日： 1994年05月20日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】静圧入力時にも最大出力を得ることができるとともに、差圧の影響を抑制できる複合センサ及びこれを用いた複合伝送器を実現する。【構成】静圧ゲージ23a〜23dは静圧ダイアフラム22a〜22d上に配置される。静圧ゲージ23a、23cはこれらの長手方向がダイアフラム22a、22cのそれぞれに外接する円の半径方向及び差圧ダイアフラム21に外接する円の半径方向に平行となるように配列される。静圧ゲージ23b、23dはこれらの長手方向がダイアフラム22b、22dのそれぞれに外接する円の接線方向に平行であり差圧ダイアフラム21に外接する円の半径方向に平行となるように配列される。静圧ゲージ23a、23bはホイーストンブリッジ回路の高電位側に接続され、静圧ゲージ23c、23dはブリッジ回路の低電位側に接続される。これにより、差圧の影響が抑制され、最大の差圧出力がブリッジ回路から得られる。

請求項（抜粋）：

単結晶シリコン基板に形成され、差圧検出手段が配置された差圧検出用のダイアフラムと、上記シリコン基板に形成された少なくとも一つの静圧検出用のダイアフラムと、この静圧検出用のダイアフラム上に形成され、感歪ゲージを有する4つの静圧検出手段とを備え、これら4つの静圧検出手段によりホイートストンブリッジ回路が構成される複合センサにおいて、全ての上記感歪ゲージは、これら感歪ゲージの長手方向が、差圧ダイアフラムに外接する円の半径方向にほぼ平行となるように、上記静圧検出用ダイアフラムに配列されていることを特徴とする複合センサ。

IPC (2件)：

G01L 13/06 , G01F 1/38

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-061929
特開平3-041777
特開平4-212032

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