金型クリーニングシート及びそれを用いたクリーニング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-114483
公開番号（公開出願番号）：特開2005-297284
出願日： 2004年04月08日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】いわゆるノンリードパッケージ用の金型に代表される片面金型でかつ一方に吸引孔を備えた金型のクリーニングにおいてクリーニング時の作業性を向上させ、かつ、クリーニング樹脂が入らない部分も清掃できる金型クリーニングシートと金型クリーニング方法を提供する。【解決手段】片面が厚み10〜150μmの耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面が厚み0.10〜1.0mmの再生セルロース混不織布からなるクリーニング樹脂溶液透過性材料であり、両者が接着されてなり、カール度θが-90°<θ<90°であることを特徴とする金型クリーニングシート。【選択図】選択図なし

請求項（抜粋）：

片面が厚み10〜150μmの耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面が厚み0.10〜1.0mmの再生セルロース混不織布からなるクリーニング樹脂溶液透過性材料であり、両者が接着されてなり、カール度θが-90°<θ<90°であることを特徴とする金型クリーニングシート。

IPC (2件)：

B29C33/72 , H01L21/56

FI (2件)：

B29C33/72 , H01L21/56 T

Fターム (13件)：

4F202AD16 , 4F202AG03 , 4F202AH37 , 4F202AM13 , 4F202CA12 , 4F202CB01 , 4F202CK06 , 4F202CM72 , 4F202CS02 , 5F061AA01 , 5F061BA01 , 5F061CA21 , 5F061DC01

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第1903680号公報
成形金型クリーニング用シートおよびそれを用いた半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-029053 出願人：株式会社日立製作所, 日立米沢電子株式会社

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