特許
J-GLOBAL ID:200903094054738668
ファイバレーザ加工装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 聖孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-008693
公開番号(公開出願番号):特開2007-190566
出願日: 2006年01月17日
公開日(公表日): 2007年08月02日
要約:
【課題】ファイバレーザ出力の安定性を向上させ、ひいてはレーザ加工の再現性および信頼性を向上させること。【解決手段】 このファイバレーザ加工装置は、ファイバレーザ発振器10、レーザ電源部12、レーザ入射部14、ファイバ伝送系16、レーザ出射部18および加工テーブル18等から構成される。ファイバレーザ発振器10より発振出力されたファイバレーザ光FBの一部がビームスプリッタ40を介してパワーモニタ用のフォトダイオード(PD)42に受光され、PD42の出力信号がレーザ電源部12に送られる。レーザ電源部12は、PD42の出力信号をフィードバック信号として受け取り、ファイバレーザ光FBのレーザ出力を設定値に一致させるように、励起部24のLD30に供給する駆動電流のたは励起用電流を制御する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
発光元素を含むコアとこのコアを取り囲むクラッドとを有する発振用の光ファイバと、
前記発振用光ファイバのコアに励起光を供給するための励起部と、
前記発振用光ファイバに所定波長のレーザ光を発振出力させるために前記励起部を発光駆動する電源部と、
前記発振用光ファイバより生成された前記レーザ光を被加工物の加工点に向けて集光照射するレーザ出射部と、
前記レーザ光のレーザ出力について所望の基準値または基準波形を設定する設定部と、
前記発振用の光ファイバより発振出力された前記レーザ光のレーザ出力を測定するレーザ出力測定部と、
前記レーザ出力測定部より得られるレーザ出力測定値が前記基準値または基準波形に一致するように前記電源部を制御する制御部と
を有するファイバレーザ加工装置。
IPC (3件):
B23K 26/00
, B23K 26/08
, H01S 3/06
FI (3件):
B23K26/00 N
, B23K26/08 K
, H01S3/06 B
Fターム (14件):
4E068CA01
, 4E068CA02
, 4E068CA05
, 4E068CC01
, 4E068CD11
, 4E068CE08
, 4E068CK01
, 5F172AE12
, 5F172AM08
, 5F172EE13
, 5F172NN23
, 5F172NP03
, 5F172NQ06
, 5F172ZZ01
引用特許:
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