特許

J-GLOBAL ID：200903094081749116

複数の同期光源を用いた干渉計計測システム

発明者： カート アール.レッドリッツ
出願人/特許権者： ジゴー コーポレーション
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256866
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213412
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 1つ以上の光源を用いて1つ以上の移動ステージの変位を正確に測定する。【解決手段】 2つの光源20,22を用いた2つの干渉計40,41の測定を同期させる装置である。光源20,22は、単一直線偏光ビーム21,23を出力し、音響光学素子30,31は、入力ビーム21,23を、主発振装置10および副発振装置14によって決定される周波数差により分離された2つの直交偏光ビームに変換する。発振装置10と14は両光源を同期させる異なる増幅器12,13によって、音響光学素子30,31を駆動する。2つの直交偏光ビーム対70,72は干渉計40,41を横切る。干渉計からのビームは光学的受信器50,51に戻り、ビート周波数51,53を電子測定器60,62へ送る。電子測定器60,62は主発振装置10からの信号150とビート周波数51,53とを用いて位相差を決定し蓄積し、位相差61,63を出力する。

請求項（抜粋）：

第1および第2干渉計手段と、第1干渉計手段に付随する第1光源と、第2干渉計手段に付随する第2光源とを備え、第1および第2光源の各々は、周波数の差によって分離された一対の直交偏光ビームを出力し、前記対の直交偏光ビームの各々は前記干渉計手段を横切るように構成され、第1固定周波数を確立する確立手段と、第1光源からの前記対の直交偏光間の前記周波数の差を第1固定周波数に結合させる手段と、第1固定周波数に結合した第2固定周波数を第1光源から第2光源に伝送する伝送手段と、第2光源からの前記対の直交偏光間の前記周波数の差を第1固定周波数に結合させる手段とを備え、それによって複数の光源を用いた前記干渉計の測定が同時に行われデータエージ差を減少した干渉計測定が可能となる、複数の同期光源を用いた干渉計測定システム。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平1-250880
  
• レーザー利用測定器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-097965   出願人：グラフテック株式会社

審査官引用 (2件)

• 特開平1-250880
  
• レーザー利用測定器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-097965   出願人：グラフテック株式会社