特許

J-GLOBAL ID：200903094106005699

固体撮像素子およびその製造方法

発明者： 蜂谷 透
出願人/特許権者： 富士フイルムホールディングス株式会社
代理人 (4件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-175324
公開番号（公開出願番号）：特開2006-351788
出願日： 2005年06月15日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】薄型化をはかり、高度の微細化に際しても高感度で信頼性の高い固体撮像素子を提供する。【解決手段】光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、前記電荷転送部に接続される配線層を含む周辺回路部とを具備し、少なくとも光電変換部の上層にカラーフィルタ層を形成してなる固体撮像素子において、前記配線層が、前記電荷転送部を覆う絶縁膜に形成されたトレンチ内に埋め込まれる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、前記電荷転送部に接続される配線層を含む周辺回路部とを具備し、少なくとも光電変換部の上層にカラーフィルタ層を形成してなる固体撮像素子において、 前記配線層が、前記電荷転送部を覆う絶縁膜に形成されたトレンチ内に埋め込まれた固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 F ,  H04N5/335 U

Fターム (26件)：

4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA20 ,  4M118CA32 ,  4M118CA34 ,  4M118DA13 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA07 ,  4M118FA35 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03 ,  5C024GX22 ,  5C024GY01 ,  5C024HX01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• マス型フィルタ構造による固体撮像素子及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-320024   出願人：ソニー株式会社