大気圧プラズマを用いた液晶パネルの製造方法及びそれを用いた液晶パネル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-059143
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254676
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】基板内面の全面に配向膜と絶縁膜のうち、少なくとも一方を有する液晶パネルに大気圧下のプラズマ処理をし、端子部分の前記配向膜又は絶縁膜を選択除去することで、配向膜や絶縁膜を選択することなく全面に形成可能となり、液晶パネルの生産性向上することを目的としている。【構成】ラインガン13内部にHeとO2の混合気体15を導入し、ラインガン先端部にRF電源14からの高周波によって発生したプラズマ16部分に電気的に設置したステージ17上に乗せた液晶パネル18の端子部分19を重ねる。

請求項（抜粋）：

内面に透明電極を有する二枚の基板を対向させ、該二枚の基板間隙に液晶組成物を封入してなる液晶パネルの製造方法において、前記基板内面の全面にポリイミド系配向膜を形成し、前記液晶封入後に外部電気回路との接続端子部分の前記配向膜を大気圧下のプラズマアッシング処理によって選択除去することを特徴とする液晶パネルの製造方法。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1337

FI (3件)：

G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1337

引用特許：

審査官引用 (18件)

液晶配向膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-175115 出願人：スタンレー電気株式会社
液晶表示パネルの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-161965 出願人：富士通株式会社
特開昭63-049788

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