特許

J-GLOBAL ID：200903094109850373

プローブ及びそれを用いたプローブカード

発明者： 大久保 昌男 ,  大久保 和正 ,  岩田 浩
出願人/特許権者： 日本電子材料株式会社
代理人 (1件)： 大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281072
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099863
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【目的】 プローブに不都合が生じても交換が簡単でり、しかも信頼性の高いプローブカードとする。【構成】 測定対象物であるLSIチップ等の半導体集積回路900の電極910に接触するプローブ100と、配線パターン(図示省略)が形成された基板200と、この基板200の裏面側に設けられ、前記プローブ100を支持する支持手段300と、前記プローブ100と配線パターンとの間を電気的に接続する接続手段としてのマイクロコネクタ400とを備えており、前記プローブ100は、後端の接続部120と先端の接触部110との間に平板化された弾力部130を有している。

請求項（抜粋）：

測定対称物の電極に接触する接触部と、プローブカードを構成する基板の配線パターンに接続される接続部と、前記接触部と接続部との間に設けられた弾力部とを具備しており、前記弾力部は、平板化されたものであることを特徴とするプローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 D ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (25件)：

2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AG03 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G003AH00 ,  2G011AA17 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AB08 ,  2G011AC05 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AE22 ,  2G011AF01 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10 ,  4M106DD18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-252730   出願人：日本電気ファクトリエンジニアリング株式会社, 日本電気株式会社
• 特開昭48-101884
  
• 特開平1-109670