ウェーハ研磨装置及びウェーハ製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067583
公開番号（公開出願番号）：特開2000-263401
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの研磨が完了した状態を安定して検出することができるウェーハ研磨装置及びウェーハ製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】ウェーハ保持ヘッド1は、ヘッド本体2内に張られたダイヤフラム5に固定され研磨すべきウェーハWの一面を保持するためのキャリア6と、キャリア6とヘッド本体2との間に円周方向に沿って複数設けられるとともにそれぞれにセンサ部21を備えたトルク伝達機構20と、それぞれのセンサ部21からの出力を演算してウェーハWに作用する力を検出する演算部31とを備えている。ダイヤフラム5はトルク伝達機構20によって過剰なねじり力を受けないようになっており、ウェーハWに作用する力はキャリア6を介して直接的にセンサ部21に観測される。そのため、ウェーハWの研磨は、作用される力を検出されつつ安定して行われる。

請求項（抜粋）：

表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハを保持して前記研磨パッドにウェーハの一面を当接させるウェーハ保持ヘッドとを具備し、このウェーハ保持ヘッドと前記プラテンとをそれぞれ回転させることにより前記研磨パッドで前記ウェーハを研磨するウェーハ研磨装置であって、前記ウェーハ保持ヘッドは、天板部と該天板部の外周下方に設けられた筒状の周壁部とからなるヘッド本体と、前記ヘッド本体内にヘッド軸線に対し垂直に張られたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムと前記ヘッド本体との間に形成される流体室に満たされた流体圧力を調整する圧力調整機構と、前記ダイヤフラムに固定されこのダイヤフラムとともにヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、研磨すべきウェーハの一面を保持するためのキャリアと、前記周壁部の内壁と前記キャリアの外周との間に同心状に配置されるとともに、前記ダイヤフラムに固定され前記ダイヤフラムとともにヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、研磨時には研磨パッドに当接するリテーナリングと、前記ヘッド本体とキャリアとの間に円周方向に沿って複数設けられ、前記ヘッド本体のトルクを前記キャリアに伝達するためのトルク伝達機構と、前記それぞれのトルク伝達機構に設けられ、前記ウェーハに作用する回転方向の力を観測するための複数のセンサ部と、前記それぞれのセンサ部に連結され、これらセンサ部からの出力に基づき前記ウェーハに作用する力を算出する演算部とを備えたことを特徴とするウェーハ研磨装置。

IPC (6件)：

B24B 7/04 , B24B 1/00 , B24B 37/04 , B24B 49/16 , G01L 5/00 , H01L 21/304 622

FI (6件)：

B24B 7/04 A , B24B 1/00 A , B24B 37/04 E , B24B 49/16 , G01L 5/00 Z , H01L 21/304 622 R

Fターム (37件)：

2F051AA11 , 2F051AB02 , 2F051AC01 , 2F051AC09 , 2F051BA03 , 3C034AA13 , 3C034AA17 , 3C034CA16 , 3C034CB01 , 3C034DD10 , 3C034DD20 , 3C043BA09 , 3C043BA16 , 3C043CC07 , 3C043DD05 , 3C049AA07 , 3C049AA12 , 3C049AB04 , 3C049AB06 , 3C049AB08 , 3C049BA06 , 3C049BB09 , 3C049BC01 , 3C049BC02 , 3C049CB01 , 3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058AB04 , 3C058AB06 , 3C058AB08 , 3C058BA06 , 3C058BB09 , 3C058BC01 , 3C058BC02 , 3C058CB01 , 3C058DA12 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (1件)

ウェーハ研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-317907 出願人：株式会社東京精密

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